кандидат технических наук
В пресс-релизе: «В День российской науки рассказываем о молодежных лабораториях»
Тенденции к микроминиатюризации, повышению плотности соединений и быстродействию всегда являлись приоритетными в развитии современной электроники. Технологии производства современных полупроводниковых изделий приближаются к пределу миниатюризации, связанной с физическими ограничениями размеров транзисторов. Преодолеть физические ограничения можно только созданием новых технологий производства ЭКБ, поэтому в настоящее время в электронной отрасли в РФ и в мире стоят перспективные задачи, которые можно разделить на два технологических направления: 1) технологии изготовления ИС «За пределами КМОП» и 2) технологии 3D интеграции элементов электроники «Больше, чем Мур